日本三菱电机开发出了输出功率增至10W的深紫外激光器，并在研发成果新闻发布会上进行了展示。这种波长213nm的深紫外激光器有望在空气中用于加工玻璃等光学器件。输出功率达到了普通工业用水平10W，原产品的输出功率为5.6W。可实现高速加工所需的10kHz以上的脉冲激光。采用该激光器的加工设备的投产日期尚未确定，估计“大约5年后将会有这种需求”。

　　此次的深紫外激光器使用波长为1064nm、输出功率300W的红外激光光源，采用非线性光学晶体硼酸铯锂（CLBO），把波长转换为213nm。首先把1064nm的红外激光转换为532nm，然后再转换为266nm的紫外激光，最后转换为213nm的深紫外激光。为提高此次激光的输出功率，减少了向紫外和深紫外激光转换波长的CLBO晶体中的杂质。原来采用的晶体，当输出功率为5.6W时，就达到了饱和。其原因是激光被晶体中的杂质吸收、生热，晶体开始产生偏差。此次采用的CLBO晶体由大阪大学开发。